Оптические свойства пленок ITO, полученных высокочастотным магнетронным напылением с сопутствующей ионной обработкой

Представлено изменение свойств пленок ITO (indium tin oxide), полученных методом реактивного высокочастотного напыления с одновременной ионной обработкой. Пленки ITO имеют в оптическом диапазоне 450–1100 нм пропускание 80%, ширину запрещенной зоны 3.50–3.60 эВ, показатель преломления 1.97–2.06. Все характеристики пленок зависят от тока ионной обработки. Ионная обработка в процессе напыления уменьшает удельное сопротивление пленок ITO, минимальное значение сопротивления составляет 2 $\cdot$ 10$^{-3}$ Ом $\cdot$ см. Обнаружена деградация пленок с высоким удельным сопротивлением при хранении на воздухе.