Использование освещения для идентификации газовых сред полупроводниковыми сенсорами на основе оксида цинка

Представлены результаты исследования фото- и газочувствительных свойств слоев оксида цинка (ZnO), синтезированных методом золь-гель технологии. Экспериментально показано, что проводимость и тип отклика ZnO-сенсора на воздействие газовых проб модулируются освещением образца с длиной волны в области собственного поглощения. Разработана модель электронных процессов в хеморезистивных полупроводниковых сенсорах газа, основанная на межзонной генерации носителей заряда при освещении и их рекомбинации через локализованные поверхностные уровни, индуцированные адсорбированными частицами кислорода. Результаты позволяют разработать метод энергетического сканирования запрещенной зоны газочувствительных полупроводниковых материалов для идентификации газов-восстановителей в газовых пробах.