RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1987, том 21, выпуск 8, страницы 1505–1508 (Mi phts849)

Краткие сообщения

Распад пересыщенного раствора замещения фосфора в кремнии при секундной термообработке

Р. М. Баязитов, В. Е. Борисенко, Д. А. Коновалов, И. Б. Хайбуллин, С. Г. Юдин




© МИАН, 2024