RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Физика и техника полупроводников
// Архив
Физика и техника полупроводников,
1987
, том 21,
выпуск 8,
страницы
1505–1508
(Mi phts849)
Краткие сообщения
Распад пересыщенного раствора замещения фосфора в кремнии при секундной термообработке
Р. М. Баязитов
,
В. Е. Борисенко
, Д. А. Коновалов
, И. Б. Хайбуллин
,
С. Г. Юдин
Полный текст:
PDF файл (632 kB)
©
МИАН
, 2024