Аннотация:
Проведено экспериментальное и теоретическое исследование
особенностей формирования сигнала тока, индуцированного электронным
зондом (ТИЭЗ) в полупроводниковых гетероструктурах. Показано, что функция
генерации электронно-дырочных пар состоит из двух частей — узкого
«пика» генерации, ширина которого практически
не зависит от энергии первичных электронов, и расширяющейся
с энергией области генерации носителей. Получена зависимость положения максимума кривой ТИЭЗ от
геометрических и электрофизических параметров исследуемых гетероструктур.