RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Физика и техника полупроводников
// Архив
Физика и техника полупроводников,
1986
, том 20,
выпуск 2,
страницы
373–375
(Mi phts88)
Краткие сообщения
К теории диффузионных примесных профилей с зависящими от концентрации коэффициентами диффузии
М. И. Синдер
Калининский государственный университет
УДК:
621.315.592
Поступила в редакцию:
04.02.1985
Принята в печать:
02.10.1985
Полный текст:
PDF файл (397 kB)
©
МИАН
, 2024