Кинетика наведения интегральных механических напряжений в имплатируемом кремнии

Л. Й. Пранявичюс, Л. Й. Пуоджюкинас, И. П. Пожела

Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса

Поступила в редакцию: 05.08.1985

Реферативные базы данных:

•