Нарушение элементного состава в $Si\,O_2$ при ионно-активированном химическом травлении

Л. Й. Пранявичюс, С. Й. Тамулевичюс, А. П. Матюкас

Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкус

Поступила в редакцию: 24.07.1985

Реферативные базы данных:

•