Влияние среды отжига на свойства радиационно-легированного кремния (РЛК)

И. Н. Воронов, И. М. Греськов, П. М. Гринштейн, Р. И. Гучетль, М. А. Мороховец, Н. А. Соболев, А. А. Стук, В. А. Харченко, В. Е. Челноков, Е. И. Шек

Реферативные базы данных:

•