Эпитаксиальная кристаллизация напыленных слоев кремния на подложках GaP в условиях интерференционного лазерного отжига

Ю. В. Ковальчук, Е. Л. Портной, В. И. Скопина, В. Б. Смирницкий, О. В. Смольский, И. А. Соколов