Использование скользящего разряда для размерной обработки тонких полимерных слоев ВУФ фототравлением

К. А. Валиев, Л. В. Беликов, С. Д. Душенков, Д. Ю. Зарослов, Е. Р. Канунов, Н. В. Карлов, И. О. Ковалев, Г. П. Кузьмин, A. M. Прохоров