Перераспределение остаточных напряжений при профилировании подложек в структурах InGaSbAs/GaSb

Б. Ж. Кушкимбаева, Б. А. Матвеев, Г. Н. Талалакин, А. С. Филипченко, Е. И. Чайкина

Реферативные базы данных:

•