Генерация решеточных дефектов при термообработке кремния в хлорсодержащей атмосфере

А. И. Курбаков, Э. Э. Рубинова, Н. А. Соболев, А. А. Стук, И. Н. Трапезникова, В. А. Трунов, Е. И. Шек

Реферативные базы данных:

•