Лазерная очистка поверхности кремния: контроль методами электронной спектроскопии и лазерной десорбции

С. А. Комолов, Т. О. Артамонова, И. В. Барышев, Э. Ф. Лазнева, И. Н. Федоров

Реферативные базы данных:

•