Исследование проводимости многослойных периодических структур $a$-Si : H/$a$-SiN$_{x}$ : H в ходе их образования

Д. И. Биленко, Ю. Н. Галишникова, Э. А. Жаркова, О. Ю. Колдобанова, И. И. Николаева

Реферативные базы данных:

•