Динамика плавления и кристаллизации тонких аморфных имплантированных слоев кремния под действием наносекундных лазерных импульсов

С. Ю. Карпов, Ю. В. Ковальчук, В. Е. Мячин, Ю. В. Погорельский, М. Ю. Силова, И. А. Соколов, М. И. Этинберг

Реферативные базы данных:

•