Исследование дефектообразования в карбиде кремния при воздействии импульсов эксимерного лазера методом каналирования

К. К. Бурдель, А. С. Ахманов, А. Ю. Поройков, А. В. Суворов, Н. Г. Чеченин

Реферативные базы данных:

•