Легирование азотом эпитаксиальных слоев SiC при росте сублимационным «сэндвич$-$методом» в вакууме

Е. Н. Мохов, М. Г. Рамм, А. Д. Роенков, М. И. Федоров, Р. Г. Веренчикова

Реферативные базы данных:

•