Стабильность свойств (состав, структура) пассивированной водородом Si (001) поверхности в процессе предэпитаксиальной термообработки

В. Г. Антипов, Р. В. Каллион, С. А. Никишин, Д. В. Синявский

Реферативные базы данных:

•