Синтез аморфной пленки Si$_{3}$N$_{4}$ в процессе имплантации ионов азота в кремний

П. А. Александров, Е. К. Баранова, В. В. Бударагин, К. Д. Демаков, Е. В. Котов, С. Г. Шемардов

Реферативные базы данных:

•