RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив
Письма в ЖТФ, 1991, том 17, выпуск 4, страницы 85–88 (Mi pjtf3694)
О каталитическом травлении кремния во фторсодержащей плазме

И. И. Амиров, В. Л. Лавров




Реферативные базы данных:

© МИАН, 2025