Получение аморфных гидрогенизированных широкозонных полупроводников $a$-Si$_{1-x}$C$_{x}$ : H в реакторе с вынесенной подложкой

А. А. Андреев, П. А. Андреев, М. Х. Ганиев, Ю. М. Таиров, Д. Ханов, В. Ф. Цветков, С. В. Чернышов