А. А. Мальцев, Е. Н. Мохов, “О легировании бором и азотом эпитаксиальных слоев 6H SiC, выращиваемых сублимацией в избытке кремния”, Письма в ЖТФ, 1992, том 18, выпуск 14,страницы 41

ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 1992, том 18, выпуск 14, страницы 41–45 (Mi pjtf4386)

О легировании бором и азотом эпитаксиальных слоев 6H SiC, выращиваемых сублимацией в избытке кремния

А. А. Мальцев, Е. Н. Мохов

Реферативные базы данных: