Метод измерения периодов волноводных дифракционных оптических элементов

Предложен оригинальный метод измерения периодов волноводных дифракционных оптических элементов. В отличие от стандартных методик предлагаемый метод позволяет проводить измерения для волноводных решеток дифракционных оптических элементов, когда дифрагировавшие порядки являются волноводными или световодными модами, распространяющимися в материале подложки. Метод обладает малой погрешностью и прост в техническом исполнении.