RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2021, том 47, выпуск 20, страницы 19–22 (Mi pjtf4649)

Металл-стимулированное разложение поверхности сапфира в потоке электронов с энергией 70 keV

В. П. Власов, А. Э. Муслимов, В. М. Каневский

Федеральный научно-исследовательский центр «Кристаллография и фотоника» Российской академии наук

Аннотация: Исследовано металл-стимулированное разложение поверхности сапфира при комнатной температуре в потоке электронов с энергией 70 keV. В качестве стимулятора применен ансамбль кристаллических островков золота. Впервые установлено, что наличие ансамбля островков золота на поверхности сапфира значительно снижает температуру подложки и энергию электронов, при которых происходит разложение поверхности. Ямки травления образуются около островков золота и имеют удлиненную форму со следующими размерами: длина до 1.2 $\mu$m, ширина до 0.8 $\mu$m и средняя глубина 20 nm. Максимальная площадь основания островков при этом увеличивается с 0.6 до 1.8 $\mu$m$^{2}$.

Ключевые слова: сапфир, золото, металл-стимулированное разложение, поток электронов.

Поступила в редакцию: 04.05.2021
Исправленный вариант: 06.07.2021
Принята в печать: 06.07.2021

DOI: 10.21883/PJTF.2021.20.51608.18858



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024