Влияние состава низкотемпературной азотной плазмы на гидрофильные и гидрофобные свойства покрытий на основе азотированного оксида титана

Изучено влияние состава азотной плазмы на структурно-фазовый и элементный состав, топографию, механические и гидрофобные свойства покрытий на основе азотсодержащего оксида титана при натекании на образец в открытой атмосфере. Показано, что при одинаково высокой микротвердости порядка 25–27 GPa, контролируя состав азотной плазмы, можно формировать либо гидрофильные (контактный угол 73$^\circ$), либо гидрофобные покрытия (контактный угол 120$^\circ$).