В. Ю. Железнов, Т. В. Малинский, С. И. Миколуцкий, В. Е. Рогалин, С. А. Филин, Ю. В. Хомич, В. А. Ямщиков, И. А. Каплунов, А. И. Иванова, “Лазерное травление германия”, Письма в ЖТФ, 2021, том 47, выпуск 14,страницы 18

Эта публикация цитируется в 5 статьях

Лазерное травление германия

В. Ю. Железнов^a, Т. В. Малинский^a, С. И. Миколуцкий^a, В. Е. Рогалин^a, С. А. Филин^a, Ю. В. Хомич^a, В. А. Ямщиков^a, И. А. Каплунов^b, А. И. Иванова^b

^a Институт электрофизики и электроэнергетики РАН, г. Санкт-Петербург
^b Тверской государственный университет

Аннотация: При исследовании сканирования полированной поверхности монокристаллов германия сфокусированным частотно-импульсным излучением ультрафиолетового Nd:YAG-лазера выявлено, что при предпороговых плотностях энергии (при $E$ $\sim$ 0.5 – 1.15 J/cm$^{2}$) в отсутствие заметных следов кратерообразования наблюдалось лазерное травление. Предполагается, что центрами зарождения абляции являются дислокации, выходящие на поверхность кристалла.

Ключевые слова: УФ-лазер, наносекундный импульс, порог оптического пробоя, абляция, лазерное травление, монокристалл германия.

Поступила в редакцию: 03.02.2021
Исправленный вариант: 11.04.2021
Принята в печать: 12.04.2021

DOI: 10.21883/PJTF.2021.14.51181.18724