Аннотация:
Предложена модель, описывающая изменение формы наноостровков, выращиваемых методом селективной эпитаксии. Модель основана на минимизации поверхностной энергии при заданном объеме. Рассмотрена морфология, в которой островок огранен боковыми фасетками (101) и (112) и фасеткой (001) на вершине, размер которых изменяется в зависимости от объема. Проведены расчеты длин, аспектных соотношений и площадей поверхности конкурирующих фасеток в зависимости от объема островка.
Ключевые слова:селективная эпитаксия, форма островка, поверхностная энергия.
Поступила в редакцию: 06.04.2021 Исправленный вариант: 23.04.2021 Принята в печать: 23.04.2021