Ионный синтез структур кремний на изоляторе" со свинцово-силикатным изолирующим слоем

Исследован процесс ионного синтеза структур “кремний на изоляторе”, основанный на последовательной имплантации ионов кислорода и стеклообразователя в кремниевые подложки. В качестве стеклообразователя использованы ионы свинца. Рассмотрены особенности формирования скрытого силикатного слоя при постимплантационном отжиге. Измерены вольт-амперные характеристики синтезированных структур, а также удельные электрические сопротивления изолятора и приборного слоя кремния.