Аннотация:
Проведено теоретическое исследование зависимости скорости роста и структуры нитевидных нанокристаллов полупроводниковых соединений III–V от площади диффузионного сбора адатомов на поверхности подложки. Получено выражение для максимальной скорости роста нитевидных нанокристаллов. Проанализированы причины ее уменьшения в различных технологиях. Показано, что скорость роста пропорциональна площади сбора и обратно пропорциональна квадрату радиуса нанокристалла. Продемонстрировано, что автокаталитические нитевидные нанокристаллы GaAs расширяются при больших и сужаются при малых значениях площади сбора и при этом в обоих случаях обладают кубической структурой. Вюрцитная фаза формируется в области промежуточных значений площади сбора.
Ключевые слова:нитевидный нанокристалл, полупроводниковые соединения III–V, механизм роста пар-жидкость-кристалл, скорость роста, площадь сбора адатомов.
Поступила в редакцию: 05.02.2021 Исправленный вариант: 05.02.2021 Принята в печать: 10.02.2021