Осаждение фторполимерных покрытий на вращающиеся цилиндрические поверхности методом химического осаждения из газовой фазы, активированной горячей нитью

Метод химического осаждения из газовой фазы, активированной горячей нитью (hot wire chemical vapor deposition), адаптирован для осаждения фторполимерных покрытий на вращающиеся цилиндрические поверхности малого радиуса (менее 20 mm). Исследовано влияние частоты вращения поверхности на строение осаждающегося на ней тонкого фторполимерного покрытия. Обнаружено существенное изменение морфологии формируемого фторполимерного покрытия в зависимости от частоты вращения цилиндрической поверхности. Определен дополнительный параметр (частота вращения цилиндрической поверхности), варьирование которого позволяет изменять строение формируемого фторполимерного покрытия в процессе осаждения.