Влияние пористости слоя кремния на упругие свойства гибридных подложек SiC/Si

Изучено влияние пористости слоя кремния, содержащего макропоры, на упругие и термомеханические свойства подложек SiC/Si, получаемых методом замещения атомов. Расчет упругих констант пористого кремния выполнен методом конечных элементов. Результаты расчета модуля Юнга в направлении [111] согласуются с оценками, полученными методом наноиндентирования подложек SiC/Si(111). Построенная теоретическая модель может быть использована для определения упругих свойств подложек SiC/Si различной ориентации.