Воздействие дуплексной обработки на механические свойства нержавеющей стали марки 316L

Представлены результаты экспериментальных исследований по модифицированию поверхностного слоя стали марки 316L дуплексной обработкой, включающей в себя ионно-плазменную обработку в атмосфере азота с последующим нанесением углеводородных пленок, легированных кремнием и кислородом ($\alpha$-C:H:SiO$_{x}$), методом плазмохимического осаждения. Механические свойства поверхности стали (твердость, модуль упругости, индекс пластичности, сопротивление пластической деформации) определялись методом наноиндентирования, а адгезия пленок оценивалась методом скретч-теста. Установлено, что наибольшее улучшение механических свойств системы пленка-подложка наблюдалось после нанесения пленки $\alpha$-C:H:SiO$_{x}$ на предварительно упрочненную посредством ионно-плазменной обработки в плазме азота поверхность.