Аннотация:
Комплекс последовательно расположенных линейного фильтра скоростей Вина (WLF) и энергоанализатора с задерживающим потенциалом (RFA) позволил измерять спектры ионов многокомпонентного плазменного потока по энергии, массе и заряду. Приведено описание идей и результатов испытания двух вариантов анализатора: WLF–RFA и RFA–WLF.
Ключевые слова:анализ ионов по энергии, массе и заряду.
Поступила в редакцию: 30.12.2019 Исправленный вариант: 30.12.2019 Принята в печать: 20.02.2020