Получение тонких пленок графита на диэлектрической подложке с помощью гетероэпитаксиального синтеза

Представлены результаты отработки методики получения тонких графитовых пленок на диэлектрической подложке методом отжига структуры Al$_{2}$O$_{3}$(0001)/Ni(111)/$ta$-C. Методика основана на каталитическом разложении углеводородов на поверхности монокристаллической пленки металла-катализатора на диэлектрической подложке и последующей диффузии и кристаллизации углерода между металлической пленкой и подложкой. После химического травления металлической пленки получается тонкая графитовая пленка с низкой плотностью дефектов кристаллической структуры на диэлектрической подложке.