Влияние температуры мишени на образование нанорельефа при облучении газовыми кластерными ионами

Проведено исследование нанорельефа, формирующегося на поверхности меди под действием наклонного пучка кластерных ионов при различных дозах обучения и температурах мишени. Образующийся нанорельеф с увеличением дозы развивается в упорядоченную волнообразную структуру. Обнаружено, что при увеличении температуры мишени происходит сглаживание исходной шероховатости. Указаны механизмы, ответственные за формирование топографии поверхности, и сделаны оценки их эффективности.