Возникновение структурных нарушений в эпитаксиальных слоях карбида кремния

Е. Н. Мохов, М. Г. Рамм, А. Д. Роенков, А. А. Вольфсон, А. С. Трегубова, И. Л. Шульпина

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград

Поступила в редакцию: 10.03.1987

Реферативные базы данных:

•