Квантовый выход кремниевого XUV-лавинного фотодиода в диапазоне длин волн 320–1100 nm

Проведено исследование квантового выхода фотоответа прототипа кремниевого XUV-лавинного фотодиода с активной областью диаметром 1.5 mm в диапазоне длин волн 320–1100 nm. Показано, что разработанный лавинный фотодиод обладает внешней квантовой эффективностью более 20 electron/photon в диапазоне длин волн 580–1000 nm при напряжении обратного смещения 485 V.