Разработка методов жидкостного травления разделительной меза-структуры при создании каскадных солнечных элементов

Выполнены исследования постростовой технологии изготовления каскадных солнечных элементов на основе гетероструктуры GaInP/GaInAs/Ge. Исследованы методы жидкостного химического и электрохимического травления слоев гетероструктуры. Разработана технология создания разделительной меза-структуры, достигнуто улучшение качества поверхности и профиля боковой стенки мезы для гетероструктур с разным составом слоев.