А. Г. Зегря, В. В. Соколов, Г. Г. Зегря, Ю. В. Ганин, Ю. М. Михайлов, “Влияние уровня легирования исходных монокристаллов кремния на параметры структуры пористого кремния, полученного методом электрохимического травления”, Письма в ЖТФ, 2019, том 45, выпуск 21,страницы 3

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Влияние уровня легирования исходных монокристаллов кремния на параметры структуры пористого кремния, полученного методом электрохимического травления

А. Г. Зегря^a, В. В. Соколов^a, Г. Г. Зегря^a, Ю. В. Ганин^b, Ю. М. Михайлов^b

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^b Институт проблем химической физики РАН, г. Черноголовка Московской обл.

Аннотация: Выявлено воздействие относительно небольших изменений концентрации свободных носителей заряда в сильнолегированном монокристаллическом кремнии $p$-типа проводимости на структурные параметры пористых слоев, образующихся в результате его анодного травления. Выраженное влияние дырочной концентрации на исследуемые параметры структуры пористого кремния объясняется исходя из представлений об электрохимическом порообразовании в кристаллах кремния как о самоорганизующемся кооперативном процессе, сопровождающемся инжекцией электронов из области химической реакции на фронте продвижения пор.

Ключевые слова: пористый кремний, электрохимическое травление, уровень легирования, пористость, удельная площадь поверхности.

Поступила в редакцию: 18.03.2019
Исправленный вариант: 02.07.2019
Принята в печать: 03.07.2019

DOI: 10.21883/PJTF.2019.21.48463.17791