Аннотация:
Проведено исследование чувствительности (в диапазоне длин волн 400–1150 nm), темнового тока и динамических характеристик разработанного кремниевого лавинного фотодиода с активной областью диаметром 1.5 mm. Показано, что разработанный лавинный фотодиод обладает следующей совокупностью характеристик: чувствительность 80–85 А/W в диапазоне длин волн 900–1010 nm, темновой ток 1.5 nA, фронты нарастания и спада менее 2.5 ns при напряжении обратного смещения 350 V.