Аннотация:
Разработаны конструкция и технология изготовления мощных СВЧ-фотодиодов Шоттки с микрополосковыми выводами на основе двойной гетероструктуры InAlAs/InGaAs. Рабочая частота фотодиодов диаметром 15 $\mu$m составляет более 25 GHz, а максимальная выходная СВЧ-мощность – свыше 50 mW на частоте 20 GHz, что позволяет применять такие фотодиоды в аналоговых волоконно-оптических линиях передачи СВЧ-сигналов, а также для генерации и обработки СВЧ-сигналов оптическими методами в системах радиолокации и измерительной СВЧ-техники.