Характеризация свойств пленок титаната бария-стронция и управляемых элементов на их основе в диапазоне частот 1–60 GHz

Электрические свойства пленок титаната бария-стронция и перестраиваемых конденсаторов на их основе исследованы в широком диапазоне частот. Диэлектрические потери сегнетоэлектрических пленок на частотах до 30 GHz оценены на основе параметров конденсаторов, измеренных с использованием различных резонансных методик. Непосредственные измерения свойств пленок проведены на частоте 60 GHz с использованием методики открытого резонатора. На основе сравнения с полупроводниковыми аналогами показана перспективность использования тонкопленочных сегнетоэлектрических элементов в миллиметровом диапазоне длин волн.