Влияние парциального давления азота на состав, микроструктуру и механические характеристики покрытий Ti$_{1-x-y}$Al$_{x}$Tа$_{y}$N, полученных методом реактивного магнетронного распыления

Исследована эволюция элементного состава, морфологии поверхности, микроструктуры и механических свойств покрытий Ti$_{1-x-y}$Al$_{x}$Tа$_{y}$N, нанесенных методом магнетронного распыления, при увеличении отношения парциального давления азота к общему давлению газовой смеси от 0.1 до 0.5. Установлено, что наиболее значительные изменения относительного содержания Ti, Al и Ta в покрытиях происходят при варьировании данного отношения от 0.1 до 0.3. Показано, что выявленное изменение элементного состава покрытий Ti$_{1-x-y}$Al$_{x}$Tа$_{y}$N не оказывает влияния на их фазовый состав, однако приводит к изменениям их микроструктуры и механических характеристик.