Исследование состава и фазового состояния тонких пленок цирконата-титаната свинца, полученных высокочастотным магнетронным осаждением, при изменении давления рабочего газа

Вариации давления рабочей газовой смеси (от 8 до 2 Pa) при высокочастотном магнетронном осаждении тонких перовскитовых пленок цирконата-титаната свинца позволили выявить сильное изменение содержания свинца, которое опускалось ниже стехиометрического и приводило в процессе высокотемпературного отжига к образованию двухфазной (перовскит–пирохлор) структуры. Измерения состава в перовскитовых островках двухфазных пленок показали, что содержание свинца в них равно стехиометрическому или превышает его. На основании полученных данных делается вывод об отсутствии в полученных пленках вакансий свинца.