Получение микроструктур карбида кремния лазерным пиролизом

В. С. Салун, И. Ф. Канаев, И. А. Сербинов, И. Е. Решетников, А. Б. Ормонт, Д. А. Бывалин, Л. А. Рябова, В. К. Малиновский

Институт радиотехники и электроники АН СССР, Москва

Поступила в редакцию: 19.02.1987

Реферативные базы данных:

•