Реактивное ионно-плазменное травление карбида кремния

И. В. Попов, А. Л. Сыркин, В. Е. Челноков

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград

Поступила в редакцию: 24.12.1985

Реферативные базы данных:

•