Сегнетоэлектрические пленки титаната-цирконата бария на сапфировых подложках

Исследованы структурные и электрофизические свойства пленок титаната-цирконата бария на подложках чистого сапфира и сапфира с платиновым подслоем. Установлено, что материал подложки оказывает существенное влияние на кристаллическую структуру, фазовый состав пленок и их электрические характеристики. Показано, что емкостные элементы на основе пленок титаната-цирконата бария обеспечивают высокую нелинейность при низком уровне диэлектрических потерь на частоте 2 GHz.