Моделирование деформации многокристальных сборок NAND-памяти

Численно промоделирована деформация многокристальных сборок NAND-памяти при различных значениях толщин подложки и кристаллов. Результаты моделирования согласуются с экспериментальными данными. Показана эквивалентность деформации одно- и многокристальных сборок при одинаковой суммарной толщине кремния. Предложена аналитическая зависимость деформации от толщины подложки и суммарной толщины кремния, которая достаточно хорошо совпадает с модельными данными и может быть использована для предварительной оценки деформации.