Морфологические превращения в нанофазном смачивающем слое меди на кремнии, активированные воздействием зонда атомно-силового микроскопа

С помощью атомно-силовой микроскопии на воздухе в нанофазном смачивающем слое Cu$_{2}$Si на подложке Si(001) селективно активирован фазовый переход в более стабильный силицид Cu. Этот переход сопровождался увеличением латерального размера зерен, их высоты и уменьшением их плотности. Полученный эффект может быть использован для формирования упорядоченных ансамблей наноостровков и нанолитографии.