Прямая субмикронная топография в растровом электронном микроскопе

А. В. Безруков, А. К. Гейм, С. В. Дубонос, В. Т. Петрашов

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Поступила в редакцию: 18.02.1987

Реферативные базы данных:

•